Výroba nízkoemisního skla (Low-E)

Nízkoemisní skla obsahují několik vrstev kovu nebo jiných sloučenin jako povrchovou vrstvu, která poskytuje vysokou propustnost pro viditelné světlo a vysokou odrazivost pro světlo ve středním a vzdáleném infračerveném pásmu. Výhodou povlaku je vynikající tepelná izolace a příznivá propustnost světla v porovnání s povlakem standardním a tradičním sklem s povlakem používaným ve stavebnictví.

Aplikace

Při výrobě nízkoemisních skel se běžně po celém světě používá vakuové magnetronové naprašování. Při tomto procesu se používá proudění plynu (inertní plyn Ar nebo reaktivní plyny O2 a N2) ve vakuovém prostředí. Plyn musí být řízen pomocí spolehlivého regulátoru hmotnostního průtoku (MFC), aby byla udržována stabilní úroveň vakua.

S magnetronovým terčem, který funguje jako katoda, vysoké napětí dodávané střídavým nebo stejnosměrným napájecím zdrojem, ionizuje procesní plyn a vytváří plazmu. Elektrony se pohybují vysokou rychlostí pod společnou silou elektrického proudu a magnetického pole a srážejí se s molekulami plynu. Tím vytvářejí další kladné ionty a elektrony.

 

Po získání určité energie dopadnou kladné ionty v elektrickém poli na cílový materiál katody. Rozstřikovaný cílový materiál se usazuje na skleněném substrátu a vytváří tenké vrstvy. Tím vznikají rovnoměrné a souvislé vrstvy filmu.

 

Výzva

Přívodní plyn by měl být v procesu nanášení povlaku udržován na velmi stabilní úrovni, aby nedocházelo k nerovnoměrnému nanášení povlaku a vzniku výrazných skvrn a negativnímu ovlivnění celkové energie částic v povlaku, což není příznivé pro reaktivní nanášení. Složitý systém rozvodu plynu vyžaduje množství větví procesního plynu. Instalace a uvedení do provozu jednokanálových plynových okruhů je zdlouhavé a pracné. Kromě toho tento systém obvykle snižuje účinnost a generuje více míst, kde může plyn unikat. Provoz mohou negativně ovlivnit i chyby operátorů (nesprávné zapojení směšovacích a propojovacích plynových okruhů).

 

Řešení

MEMS senzory použité v MFC zajišťují odezvu rychlou 350ms. Funkce plug-and-play a okamžitá regulace s maximální přesností zvyšují produktivitu uživatelů. Hmotnostní regulátory průtoku Vögtlin umí jedinečným způsobem kompenzovat změny teploty okolí a plynu, což výrazně zlepšuje opakovatelnost.

MEMS technologie zajišťuje dlouhodobou stabilitu bez jakéhokoli driftu, pokud je plyn čistý a suchý. K upevnění MFC je zapotřebí pouze jeden šroub, což umožňuje rychlejší a přesnější demontáž/montáž. Integrovaný ventil a přesná konstrukce vnitřního směšovacího a rozvodného potrubí pomáhají předcházet provozním rizikům a zvyšují komfort pro koncového uživatele. Mezi další výhody patří úspora spotřebního materiálu pro potrubí rozvody plynu, snížení počtu míst úniku a rychlá instalace. Jednotky lze kalibrovat pro více plynů a rozsahů, což vede k výraznému snížení zásob náhradních dílů a k úspoře nákladů.

Klíčové benefity

• Vysoká opakovatelnost a spolehlivost
• Krátká doba odezvy
• Bezpečné a rychlé ovládání
• Kompaktní jednotka s vysoce kvalitními součástmi
• Komunikační rozhraní
• Analogové
• Modbus RTU
• Profibus DP-V0/DP-V1
• Profinet
• EtherCAT
• Ethernet/IP

Související